無油真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)莘e氣體輸送泵，無油真空泵須有前級(jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感，廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

發(fā)展無油真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來，伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地發(fā)展。

在我國(guó)真空泵市場(chǎng)上，外國(guó)企業(yè)的進(jìn)入與成功已成為不可爭(zhēng)辯的事實(shí)，日本真空各地布點(diǎn)，德國(guó)萊寶在中國(guó)擴(kuò)建，美國(guó)泰悉爾集團(tuán)、韓國(guó)優(yōu)成等國(guó)際著名廠家也紛紛尋找伙伴在中國(guó)建制造基地。他們的胃口很大，勢(shì)有鯨吞真空泵市場(chǎng)之勢(shì)。近 年來，國(guó)內(nèi)雖然有一些企業(yè)逐漸崛起，在真空泵市場(chǎng)上占據(jù)了較為先的地位，但是多數(shù)企業(yè)研發(fā)能力差，與國(guó)外同行相比，高端產(chǎn)品在技術(shù)上仍處于劣勢(shì)。

特點(diǎn)：

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;

(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;

(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

(5)壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差;

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

結(jié)構(gòu)：

(1)泵總體結(jié)構(gòu)型式

無油真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。

泵的單價(jià)和真空度指標(biāo)密切相關(guān)。真空度指標(biāo)是各國(guó)出產(chǎn)商發(fā)奮追求的重要指標(biāo)，它襯映了相應(yīng)的機(jī)器拋光、密封技能、材料科學(xué)等方面的群體實(shí)力，也是出產(chǎn)商獲得產(chǎn)值的關(guān)鍵慣技。要調(diào)動(dòng)真空度指標(biāo)，就必需有更高的密封前提，所以就需求引用比例更精確、材料機(jī)能更優(yōu)秀的零器件，於是出產(chǎn)成本就大輻度調(diào)動(dòng)了。而并且單價(jià)的增幅遠(yuǎn)弘遠(yuǎn)于真空度指標(biāo)的增幅。果然，抽氣速率的調(diào)動(dòng)也會(huì)產(chǎn)生單價(jià)的攀升，但其增幅不大。所以，挑選小型真空泵時(shí)需求認(rèn)真法定真空度指標(biāo)，其次是抽氣速率，這樣才氣最好地兼顧采用機(jī)能和成本。 工業(yè)上有各樣各色的真空泵，鑒于各樣泵的機(jī)能都有規(guī)定的測(cè)驗(yàn)方式來撿驗(yàn)，重要系數(shù)有：

1、抽氣速率：在真空泵的吸氣口處，單位時(shí)日內(nèi)流過的氣態(tài)體積。

2、極限真空（通常名為真空度）：將真空泵與撿測(cè)容器相連，放入待測(cè)的氣態(tài)后，開展長(zhǎng)時(shí)日接連抽氣，當(dāng)容器內(nèi)的氣態(tài)壓力不再降低而維系某必定值時(shí)，此壓力名為泵的極限真空。該值越小則說明越近乎理論真空。